下载半导体电容器及其制备方法的技术资料

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一种半导体电容器及其制备方法。制备方法包括:a.提供衬底,衬底表面形成有介质层,介质层内形成有电容孔;b.在电容孔内形成至少一个晶须凝核;c.基于晶须凝核,形成晶须;d.在电容孔内和晶须表面形成第一下电极;e.在下电极表面形成第一介电层;f...
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