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本发明公开了一种半导体设备及其晶圆传输腔室和晶圆传输方法，其中晶圆传输腔室包括，抽气组件，用于从所述腔室本体中抽气；标记检测组件，位于所述腔室本体中，用于检测晶圆上的对准标记；定位校准组件，位于所述腔室本体中，用于承载晶圆，带动晶圆旋转，并...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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