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本申请实施例提供了一种晶圆清洗装置。该晶圆清洗装置包括：基座、喷淋机构及清洗机构；所述基座，包括用于承载晶圆的载台，所述载台的外径小于所述晶圆的外径，并且所述基座用于带动所述晶圆转动；所述喷淋机构设置于所述基座的一侧，用于向所述晶圆表面喷淋...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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