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本申请实施例公开了一种晶圆的检测方法及检测设备。所述检测方法包括：检测带有刻蚀沟槽的待检测晶圆的第一质量；在所述待检测晶圆的所述刻蚀沟槽内填入填充材料；检测填入所述填充材料后的所述待检测晶圆的第二质量；确定所述第二质量与所述第一质量的第一质...
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