下载层叠半导体器件及其测试方法的技术资料

文档序号:24463318

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本发明公开了一种层叠半导体器件及其测试方法。层叠半导体器件包括:沿垂直方向层叠的多个半导体芯片,其中,每个所述半导体芯片包括:多个第一穿通电极;与所述第一穿通电极相邻定位的多个第二穿通电极;第一电压驱动电路,其适用于基于第一驱动控制信号来为...
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