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切割装置制造方法及图纸
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文档序号:24463232
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提供切割装置,在实施需要切割装置和紫外线照射装置的加工时,能够实现装置的省空间化,能够抑制设备费用。该切割装置将借助粘接带而支承于环状框架的晶片分割成各个器件芯片,其中,该切割装置包含:卡盘工作台,其包含对晶片进行支承的晶片支承工作台以及配...
该专利属于株式会社迪思科所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社迪思科授权不得商用。
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