下载切割装置的技术资料

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提供切割装置,在实施需要切割装置和紫外线照射装置的加工时,能够实现装置的省空间化,能够抑制设备费用。该切割装置将借助粘接带而支承于环状框架的晶片分割成各个器件芯片,其中,该切割装置包含:卡盘工作台,其包含对晶片进行支承的晶片支承工作台以及配...
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