下载用于制作光电倍增管的一体式多功能排气装置及使用方法的技术资料

文档序号:24463152

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本发明涉及光电倍增管技术领域,提供一种用于制作光电倍增管的一体式多功能排气装置及使用方法,包括钟罩、底板、机架、电子清刷系统、阴极系统、辉光放电系统、镀膜系统、反射率监控用光纤、放气阀、分子泵、干泵和电控系统。本发明的一体式多功能排气装置,...
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