用于制作光电倍增管的一体式多功能排气装置及使用方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及光电倍增管技术领域，提供一种用于制作光电倍增管的一体式多功能排气装置及使用方法，包括钟罩、底板、机架、电子清刷系统、阴极系统、辉光放电系统、镀膜系统、反射率监控用光纤、放气阀、分子泵、干泵和电控系统。本发明专利技术的一体式多功能排气装置，能够使光电倍增管从烘烤除气至最终的封接完毕均在高真空环境下在一台设备上完成，包括光学镀膜、辉光氧化、阴极制作及电子清刷均在高真空环境下进行，杜绝过程中各零部件及基底暴露大气，减少制作过程的污染，保证光电倍增管光学性能的最优。

Integrated multifunctional exhaust device for making photomultiplier tube and its application method

【技术实现步骤摘要】
用于制作光电倍增管的一体式多功能排气装置及使用方法
本专利技术涉及光电倍增管领域，具体而言涉及一种用于光电倍增管制造过程中进行烘烤排气、光学镀膜、辉光氧化、光电阴极制作、管芯电子清刷、封接的一体化装置。
技术介绍
光电倍增管是一种真空管，故对零部件及基底的洁净度要求很高。传统技术制作光电倍增管时，烘烤除气、光学镀膜及阴极制作都是在不同的设备上分别进行操作，各工序流转过程中玻璃球壳会暴露大气，重新吸附气体，难以保障光学镀膜及阴极制作时的玻璃基底洁净度，使得基底表面杂余气体影响膜层生长，从而影响其光学性能。
技术实现思路
本专利技术目的在于提供一种用于制作光电倍增管的一体式多功能排气装置，使光电倍增管从烘烤除气至最终的封接完毕均在高真空环境下在一台设备上完成，包括光学镀膜、辉光氧化、阴极制作及电子清刷均在高真空环境下进行，杜绝过程中各零部件及基底暴露大气，减少制作过程的污染，保证光电倍增管光学性能的最优。为实现上述目的，本专利技术提出的一种用于制作光电倍增管的一体式多功能排气装置包括钟罩、底板、机架、电子清刷系统、阴极系本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于制作光电倍增管的一体式多功能排气装置，其特征在于，包括钟罩[1]、底板[3]、机架[4]、电子清刷系统[6]、阴极系统[7]、辉光放电系统[8]、镀膜系统[9]、反射率监控用光纤[10]、放气阀[11]、分子泵[5]、干泵[12]及电控系统，其中：/n钟罩[1]与底板[3]、阴极系统[7]、电子清刷系统[6]、辉光放电系统[8]、镀膜系统[9]、反射率监控用光纤[10]组成密封真空腔室，通过分子泵[5]进行抽气，分子泵[5]的前级泵为干泵[12]；/n钟罩[1]两侧设置有钟罩顶升机构[101]，通过丝杠旋转，带动钟罩[1]上升、下降；钟罩[1]内壁布置加热装置，通过电控系统进行加热...

【技术特征摘要】
1.一种用于制作光电倍增管的一体式多功能排气装置，其特征在于，包括钟罩[1]、底板[3]、机架[4]、电子清刷系统[6]、阴极系统[7]、辉光放电系统[8]、镀膜系统[9]、反射率监控用光纤[10]、放气阀[11]、分子泵[5]、干泵[12]及电控系统，其中：
钟罩[1]与底板[3]、阴极系统[7]、电子清刷系统[6]、辉光放电系统[8]、镀膜系统[9]、反射率监控用光纤[10]组成密封真空腔室，通过分子泵[5]进行抽气，分子泵[5]的前级泵为干泵[12]；
钟罩[1]两侧设置有钟罩顶升机构[101]，通过丝杠旋转，带动钟罩[1]上升、下降；钟罩[1]内壁布置加热装置，通过电控系统进行加热升温控制；
底板[3]位于钟罩[1]下方，底板[3]与钟罩[1]之间密封；
底板[3]上部布置有载物台[303]，载物台[303]用于固定光电倍增管玻璃球壳[2]；所述载物台[303]被设置成可受驱动而围绕其中心轴旋转，通过伺服电机控制旋转角度，在镀膜系统[9]上方、辉光放电系统[8]上方、阴极系统[7]上方及电子清刷系统[6]上方按照不同的工序切换旋转；
阴极系统[7]、辉光放电系统[8]、镀膜系统[9]及电子清刷系统[6]分别位于底板[3]下方，均匀分布，通过阴极系统法兰[305]固定在底板[3]上。


2.根据权利要求1所述的用于制作光电倍增管的一体式多功能排气装置，其特征在于，所述阴极系统[7]、辉光放电系统[8]、镀膜系统[9]分别具有升降机构[703]，通过步进电机带动传动丝扛[701]旋转，从而控制阴极组件[705]或镀膜组件[901]升降。


3.根据权利要求1所述的用于制作光电倍增管的一体式多功能排气装置，其特征在于，阴极系统[7]包括阴极组件[705]、传动丝扛[701]、波纹管[702]、阴极组件升降结构[703]以及导向杆[704]，阴极组件升降机构[703]通过步进电机带动传动丝扛[701]旋转控制阴极组件[705]升降，通过导向杆[704]保证升降稳定性，利用波纹管[702]进行真空密封。


4.根据权利要求1所述的用于制作光电倍增管的一体式多功能排气装置，其特征在于，电子清刷系统[6]通过电子清刷系统法兰[304]固定在底板[3]上，电子清刷系统[6]中具有管芯升降机构[603]和电子枪平移机构[604]，管芯升降机构[603]通过伺服电机带动传动丝扛控制管芯[601]升降，传动丝扛位于电子清刷系统[6]内部，通过磁流体[602]进行真空密封。


5.根据权利要求4所述的用于制作光电倍增管的一体式多功能排气装置，其特征在于，所述辉光放电系统[8]、镀膜系统[9]阴极系统[7]与电子清刷系统[6]在底板[3]下方交叉分布，均匀分布，并且相互独立。


6.根据权利要求4所述的用于制作光电倍增管的一体式多功能排气装置，其特征在于，底板[3]包括旋转挡板[301]、氟胶圈[302]和载物台[303]，底板[3]与钟罩[1]之间采用氟胶圈[302]进行密封，氟胶圈[302]位于...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙建宁，侯巍，司曙光，苏德坦，金睦淳，王兴超，王丛杰，王亮，顾莹，周帆，
申请(专利权)人：北方夜视技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：云南;53