下载用于微通道板型光电倍增管制造的高温度均匀性的排气装置的技术资料

文档序号:24463150

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本发明涉及光电倍增管技术领域,提出一种用于微通道板型光电倍增管制造的高温度均匀性的排气装置,包括主机台;底板;可移除地安装到底板上的钟罩;设置在底板上的升降机构;设置在所述钟罩形成的密闭腔体内的加热装置,被设置成用于对夹持在三工位旋转工作台...
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