用于微通道板型光电倍增管制造的高温度均匀性的排气装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及光电倍增管技术领域，提出一种用于微通道板型光电倍增管制造的高温度均匀性的排气装置，包括主机台；底板；可移除地安装到底板上的钟罩；设置在底板上的升降机构；设置在所述钟罩形成的密闭腔体内的加热装置，被设置成用于对夹持在三工位旋转工作台的光电倍增管玻璃球壳从侧部、顶部以及中间间隙位置进行加热；控制单元，被设置用于控制所述加热装置的功率。本发明专利技术提供的用于微通道板型光电倍增管制造的高温度均匀性的排气装置与加热方法，可同时进行三只或者更多光电倍增管的制作，解决了光电倍增管管壳在排气装置中由于位置分布不均匀导致的温度均匀性差的问题，提高加热和工作效率。

Exhaust device with high temperature uniformity for manufacturing microchannel plate photomultiplier

【技术实现步骤摘要】
用于微通道板型光电倍增管制造的高温度均匀性的排气装置
本专利技术涉及光电倍增管
，尤其是微通道板型光电倍增管(PMT-MCP)，具体而言涉及一种用于微通道板型光电倍增管制造的高温度均匀性的排气装置，适于光电倍增管多工位制造的均匀加热装置与加热方法。
技术介绍
微通道板型光电倍增管是一种真空光电探测器件，常用于单光子信号的探测。微通道板型光电倍增管需要使用排气装置进行制作，制作的过程包括真空抽气、高温烘烤、光电阴极制作、封接等。其中光电阴极制作是光电倍增管的核心工艺，需要在高真空度及特定的温度条件下在管壳上部内表面进行制作，温度均匀性将会直接影响光电阴极的量子效率均匀性，最终会影响光电倍增管对微弱光信号的探测性能。排气装置加热时，内部处于高真空状态，加热装置靠热辐射保持钟罩内部温度，当排气装置同时进行三个或者更多光电倍增管制作时，由于不同工位之间管壳之间相互遮挡、管壳不同位置距离加热装置不同、玻璃管壳热传导率差等因素，如采用普通加热方式，管壳表面温度均匀性将极差，无法满足光电倍增管阴极制作工艺条件。>
技术实现思路
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【技术保护点】
1.一种用于微通道板型光电倍增管制造的高温度均匀性的排气装置，其特征在于，包括：/n主机台；/n设置在主机台上的底板；/n可移除地安装到底板上的钟罩，所述钟罩被设置成可沿着竖直方向安装到底板上，并且在二者结合后在钟罩内腔形成密闭腔体，三工位旋转工作台设置在钟罩形成的密闭腔体中；/n设置在底板上的升降机构，用以带动所述钟罩上下运动；以及/n设置在所述钟罩形成的密闭腔体内的加热装置，被设置成用于对夹持在三工位旋转工作台的光电倍增管玻璃球壳从侧部、顶部以及中间间隙位置进行加热；/n控制单元，被设置用于控制所述加热装置的功率。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于微通道板型光电倍增管制造的高温度均匀性的排气装置，其特征在于，包括：
主机台；
设置在主机台上的底板；
可移除地安装到底板上的钟罩，所述钟罩被设置成可沿着竖直方向安装到底板上，并且在二者结合后在钟罩内腔形成密闭腔体，三工位旋转工作台设置在钟罩形成的密闭腔体中；
设置在底板上的升降机构，用以带动所述钟罩上下运动；以及
设置在所述钟罩形成的密闭腔体内的加热装置，被设置成用于对夹持在三工位旋转工作台的光电倍增管玻璃球壳从侧部、顶部以及中间间隙位置进行加热；
控制单元，被设置用于控制所述加热装置的功率。


2.根据权利要求1所述的用于微通道板型光电倍增管制造的高温度均匀性的排气装置，其特征在于，所述钟罩具有圆形柱体部以及直径渐变的圆顶部。


3.根据权利要求1所述的用于微通道板型光电倍增管制造的高温度均匀性的排气装置，其特征在于，所述加热装置包括：
设置于所述钟罩内部的侧表面的第一加热组件；
设置于所述钟罩顶部内表面的第二加热组件；以及
设置于所述钟罩顶部中央位置并朝向底板方向延伸的第三加热组件。


4.根据权利要求3所述的用于微通道板型光电倍增管制造的高温度均匀性的排气装置，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙建宁，王兴超，司曙光，苏德坦，侯巍，任玲，黄国瑞，徐海洋，张昊达，曹宜起，
申请(专利权)人：北方夜视技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：云南;53