温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

[问题]本发明提供在液晶显示器件制造领域中适宜使用的、实效性地制造分辨极限以下的抗蚀图案的方法。具体提供：维持具有锥形形状的图案形状且为极限分辨以下的微细图案的制造方法。[解决方案]一种微细图案的制造方法，其包含以下的工序：在基板上，涂布包...
该专利属于默克专利有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过默克专利有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。