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本申请实施例提供了一种卡盘基座及半导体加工设备。卡盘基座用于半导体设备中承载待加工工件，其包括接合基环、绝缘环、边缘环、聚焦环及卡盘；其中，绝缘环环绕设置于固定平台外侧；边缘环环绕设置于绝缘环的外侧；接合基环设置于绝缘环及边缘环的顶部；聚焦...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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