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本发明涉及一种试验用晶圆及其制造方法。提供能够模拟实际器件的发热的试验用晶圆及其制造方法。试验用晶圆用于模拟晶圆上的器件的发热，该试验用晶圆具有硅晶圆以及与硅晶圆的表面接合的硅加热器。...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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