下载一种半导体器件及其制作方法、集成电路和电子设备的技术资料

文档序号:24414946

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本发明公开一种半导体器件及其制作方法、集成电路和电子设备,涉及半导体器件技术领域,用以抑制环栅晶体管漏电问题的产生。该半导体器件的制作方法包括:提供一衬底;在衬底上形成立体沟道结构、源极结构和漏极结构,源极结构和漏极结构均与立体沟道结构连接...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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