温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种抛光盘冷却结构、抛光盘以及抛光机，所述抛光盘冷却结构包括：转轴，所述转轴的内部中空；插设于所述转轴内部的中空管，所述中空管的内部形成为进水通道，所述中空管的外壁与所述转轴的内壁之间的空腔形成为出水通道；呈上下设置的上冷却盘和下...
该专利属于西安奕斯伟硅片技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安奕斯伟硅片技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。