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本实用新型涉及一种用于芯片研磨的硅片治具，包括硅片垫板，所述硅片垫板的上端面开设有若干个轮廓呈正方形且周长不一致的导流槽，各所述导流槽的中心为同一点且以中心点为起点呈缩放式排布；所述硅片垫板上设有硅片夹持架，所述硅片夹持架的厚度等于芯片主体...
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