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本发明实施例涉及一种分析方法。所述方法包含：提供包含预定中心的夹具及安装于所述夹具上的磁控管；使所述磁控管旋转且获得所述夹具的所述预定中心处的测得第一磁通量密度；基于所述测得第一磁通量密度而界定所述磁控管的第一区域；使所述磁控管旋转，且测量...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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