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本公开提供一种晶圆清洗装置及其清洗方法。该晶圆清洗装置包括一槽罐和一晶圆保持器。该槽罐包括一底壁、一侧壁以及一分隔壁。该侧壁连接到该底壁。该分隔壁可移动地安装在该底壁的上方，并且该分隔壁将该底壁和该侧壁定义的一清洗空间分成一第一隔室和一第二...
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