温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本公开提供一种晶元的检测方法和装置、电子设备、存储介质。该方法包括：采集加工过程中晶元的图像，其中，图像包括缺陷点，以及与缺陷点对应的坐标信息，依次对图像进行降噪处理、变换处理和特征提取处理，得到与图像对应的特征信息，根据特征信息生成与晶元...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。