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半导体结构的制造方法及制造半导体结构的遮罩技术
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文档序号:24351487
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本公开提供一种半导体结构的制造方法和制造半导体结构的遮罩。该制造方法包括:提供一基底以及在该基底上形成一光刻胶;在该光刻胶上放置一遮罩;经由该遮罩,将该光刻胶暴露在一预定电磁辐射中;以及将该光刻胶的暴露在该预定电磁辐射中的至少一部位进行移除...
该专利属于南亚科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南亚科技股份有限公司授权不得商用。
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