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本发明包括：基体(10)，相对于基板(16)而直线移动，在移动方向上具有空开规定间隔a的第一位置与第二位置；线性标度尺(33)，沿着移动方向以规定间距设有多个刻度；以及各编码器头(31，32)，配置于基体(10)的第一位置、第二位置，检测对...
该专利属于株式会社新川所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社新川授权不得商用。

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