温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本公开涉及集成电路结构及其制造方法。一种集成电路结构包括:体半导体区域;第一半导体条带,在体半导体区域上方并连接到体半导体区域;以及电介质层,其中包括氧化硅。在氧化硅中掺杂碳原子。电介质层包括:水平部分,在体半导体区域的顶表面上方并与体半导...该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本公开涉及集成电路结构及其制造方法。一种集成电路结构包括:体半导体区域;第一半导体条带,在体半导体区域上方并连接到体半导体区域;以及电介质层,其中包括氧化硅。在氧化硅中掺杂碳原子。电介质层包括:水平部分,在体半导体区域的顶表面上方并与体半导...