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本发明提供了一种晶圆传输装置，包含负载腔模块、设备前端模块和转换腔模块，具体的，负载腔模块具有第一侧与第二侧，在第一侧与第二侧之间连通形成至少一负载腔室，该负载腔室内设有至少一对晶圆支架，每一晶圆支架包含一主体，该主体平行延伸一对支撑臂，且...
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