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一种半导体元件及其制造方法。半导体元件的制造方法包括在基板上方形成半导体鳍片。鳍片间隔物形成于半导体鳍片侧壁上。在鳍片间隔物上实施电子束处理。磊晶结构形成于半导体鳍片上方。磊晶结构接触经电子束处理的鳍片间隔物。...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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