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横向双扩散金属氧化物半导体场效应管及其制备方法技术
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文档序号:24291402
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本申请涉及一种LDMOS,包括:半导体衬底,具有第一导电类型;漂移区,具有第二导电类型,形成于半导体衬底的表层;栅极结构,设置于半导体衬底的表面上且覆盖漂移区的部分表面;源区和漏区,具有第二导电类型,分别形成于栅极结构的两侧,漏区形成于远离...
该专利属于无锡华润上华科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡华润上华科技有限公司授权不得商用。
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