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半导体存储器装置及其制造方法。一种半导体存储器装置包括：层叠结构，其包括在基板上交替地层叠的多个导电层和多个层间绝缘层；设置在层叠结构中的多个阶梯槽，多个所述阶梯槽具有彼此不同的深度；以及开口部分，其穿透层叠结构以接触基板并在侧壁上具有台阶...
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