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半导体装置及其制造方法制造方法及图纸
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文档序号:24291299
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半导体装置包括:衬底中的有源区域;隔离膜,其限定衬底中的有源区域;栅沟槽,其延伸穿过有源区域和隔离膜,并且包括有源区域中的第一沟槽和隔离膜中的第二沟槽;栅电极,其包括主栅电极和传输栅电极,主栅电极填充第一沟槽的下部,并且传输栅电极填充第二沟...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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