下载半导体器件的技术资料

文档序号:24291297

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

提供了半导体器件。该半导体器件包括:第一衬底;有源区域,其由第一衬底中的隔离膜限定;氧化物半导体层,其在有源区域中的第一衬底上并且不包括硅;凹陷,其在氧化物半导体层内部;以及栅极结构,其填充凹陷,包括栅电极以及在栅电极上的封盖膜,并且具有与...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。