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下载一种直拉单晶炉的技术资料

文档序号:24282661

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本实用新型公开了一种直拉单晶炉,属于单晶硅生产领域,直拉单晶炉包括坩埚和加热器,加热器的外围设有保温层,坩埚包括用于承装熔体的石英坩埚和套设在石英坩埚外的外围支撑坩埚;加热器包括包围在坩埚周围的主加热器和设置在坩埚的底部的辅加热器;保温层外...
该专利属于刘冬雯所有,仅供学习研究参考,未经过刘冬雯授权不得商用。

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