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本实用新型提供了一种腔体隔绝环，所述的腔体隔绝环包括环状主体和位于其底部的环状底座，所述的环状底座为环形凹槽结构，所述的环状主体与环状底座的外周面相接，所述的环状底座的外周壁上开设至少一个通孔。本实用新型提供的腔体隔绝环可以极大地改善PVD...
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