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本实用新型揭示了一种晶圆换面防污装置，包括矩形的晶圆架，其上设置用于排列安放晶圆的直槽，直槽相互平行以致于晶圆相互之间也平行设置；第一旋升机构，设置在晶圆架的下方，用于驱动晶圆架整体升降或沿其中心轴向旋转；选择夹取机构，有选择地夹取一组晶圆...
该专利属于苏州芯矽电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州芯矽电子科技有限公司授权不得商用。

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