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本实用新型揭示了一种用于高密封性晶圆清洗槽，包括清洗腔，其上方设置有密封盖板，密封盖板上设有密封槽，清洗腔内放置有晶圆架；晶圆架两侧固定于一组平行设置的机械臂的下端；机械臂的上端连接驱动机构，机械臂的下端穿过密封槽并带动晶圆架在清洗腔中移动...
该专利属于苏州芯矽电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州芯矽电子科技有限公司授权不得商用。

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