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陶瓷基板、层状体和SAW器件制造技术
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文档序号:24254847
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一种陶瓷基板由多晶陶瓷形成,并且具有支撑主表面。在所述陶瓷基板的所述支撑主表面中,所述多晶陶瓷的晶粒尺寸的平均值为0.5μm以上且小于15μm,并且晶粒尺寸的标准偏差小于1.5倍所述平均值。...
该专利属于住友电气工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过住友电气工业株式会社授权不得商用。
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