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本发明属于微电子技术领域，为ZnO基三明治结构的自供电紫外探测薄膜及其制备方法，制备方法包括：在带有电极层的基底上制备ZnO种子层，得到带有ZnO种子层的基片；在ZnO种子层表面生长ZnO纳米柱，得到带有半导体材料ZnO纳米柱的基片；将上一...
该专利属于华南理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过华南理工大学授权不得商用。

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