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包括源极/漏极区的半导体器件制造技术
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下载包括源极/漏极区的半导体器件的技术资料
文档序号:24253471
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提供了一种半导体器件,该半导体器件包括:有源区,限定在基底中;至少一个沟道层,在有源区上;栅电极,与有源区交叉,在有源区上,并围绕所述至少一个沟道层;以及成对的源极/漏极区,与栅电极的两侧相邻,在有源区上,并与所述至少一个沟道层接触,其中,...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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