下载一种NAND存储器及其制备方法的技术资料

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本发明提供一种NAND存储器及其制备方法,该NAND存储器包括:衬底;形成于衬底上方的堆栈,该堆栈包括,在垂直于衬底的纵向上,交错间隔设置的多个横向延伸栅极层和层间绝缘层;竖直延伸穿过堆栈的多个存储串;竖直延伸穿过堆栈的阵列共源极,该竖直延...
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