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本发明公开了一种提高MIM电容高频可靠性的版图结构及其实现方法，涉及新一代信息技术。针对现有技术中寄生电容大以及没有高频噪声抑制能力的问题提出本方案。衬底设有N型掺杂区域并层叠设置若干金属层，相邻金属层之间通过绝缘体隔离；除了最顶层之外的所...
该专利属于华南理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过华南理工大学授权不得商用。

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