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本发明涉及图案检查装置以及图案检查方法。本发明的一方式的图案检查装置具备：光学图像取得机构，从形成有多个图形图案的基板取得多个区域的光学图像数据；多个比较处理电路，进行裸片－裸片检查处理与裸片－数据库检查处理中的一方的处理，该裸片－裸片检查...
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