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集成电路的波浪形图案及其形成方法、集成电路技术
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文档序号:24253366
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本申请涉及半导体制作技术领域,具体而言,涉及一种集成电路的波浪形图案的形成方法、集成电路的波浪形图案及集成电路,其中,此波浪形图案的形成方法包括:在基底上形成第一图案和第二图案,第一图案包括多个在第一方向上间隔排布的第一条形图案,第二图案包...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。
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