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本发明公开了一种电感耦合装置和半导体处理设备。所述电感耦合装置包括射频电源、介质筒以及环绕在所述介质筒的周向侧壁且沿其轴向依次并列设置的至少两组射频线圈及直流电源，每组所述射频线圈的输入端均与所述射频电源和所述直流电源的第一极电连接，每组所...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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