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本发明公开了一种新型中束流离子注入机平行透镜磁铁结构，包括：磁铁磁极模块(1)、通电线圈模块(2)、磁铁磁轭模块(3)，其中磁铁磁极模块(1)由上下磁极构成，磁极间能够产生理想磁场，进而将以一定发散角进入磁铁的离子束利用磁极进行偏转后，使其...该专利属于北京中科信电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京中科信电子装备有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种新型中束流离子注入机平行透镜磁铁结构，包括：磁铁磁极模块(1)、通电线圈模块(2)、磁铁磁轭模块(3)，其中磁铁磁极模块(1)由上下磁极构成，磁极间能够产生理想磁场，进而将以一定发散角进入磁铁的离子束利用磁极进行偏转后，使其...