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机台数量确定方法及装置、处理线、存储介质和电子设备制造方法及图纸
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文档序号:24252409
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本发明公开了一种机台数量确定方法及装置、处理线、存储介质和电子设备,涉及半导体制造技术领域。该机台数量确定方法包括:基于处理线上各站点内机台的工作数据生成一随机数表;以模拟的方式逐渐增加处理线上一目标站点内机台的数量,直至基于随机数表确定出...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。
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