下载机台数量确定方法及装置、处理线、存储介质和电子设备的技术资料

文档序号:24252409

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种机台数量确定方法及装置、处理线、存储介质和电子设备,涉及半导体制造技术领域。该机台数量确定方法包括:基于处理线上各站点内机台的工作数据生成一随机数表;以模拟的方式逐渐增加处理线上一目标站点内机台的数量,直至基于随机数表确定出...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。