机台数量确定方法及装置、处理线、存储介质和电子设备制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种机台数量确定方法及装置、处理线、存储介质和电子设备，涉及半导体制造技术领域。该机台数量确定方法包括：基于处理线上各站点内机台的工作数据生成一随机数表；以模拟的方式逐渐增加处理线上一目标站点内机台的数量，直至基于随机数表确定出的增加机台后的处理线的处理时间与增加机台前的处理线的处理时间之间的差小于一阈值；将增加机台后的机台数量确定为目标站点的机台数量。本公开可以通过模拟的方式确定出合适的站点机台组合。

Determination method of machine number and device, processing line, storage medium and electronic equipment

【技术实现步骤摘要】
机台数量确定方法及装置、处理线、存储介质和电子设备
本公开涉及半导体制造
，具体而言，涉及一种机台数量确定方法、机台数量确定装置、处理线、存储介质和电子设备。
技术介绍
通信、电子行业的革新离不开半导体技术的发展。半导体制造工艺复杂，主要包括光刻、蚀刻、离子注入、薄膜沉积和化学机械研磨等流程。在实际生产制造过程中存在几百至上千个步骤。可以将每一个工艺步骤对应一个站点，站点中配备有一个或多个用于工艺生产的机台。半导体生产中，机台往往价格昂贵，并且需要配备维护成本。解决如何在生产线上将各站点的机台数量配置合理的问题，一方面，有助于生产的正常流转，避免待加工晶圆在一节点出现等待时间过长的问题；另一方面，有助于企业合理配置资金、人力等成本。目前，针对确定站点内机台数量，主要通过测量的各站点间晶圆的数量以及晶圆等待的时间来增加或减少机台数量。然而，这种处理方式未考虑到整个生产线的情况，导致其他站点出现机台处理瓶颈的问题。需要说明的是，在上述
技术介绍
部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
技术实现思路
本公开的目的在于提供一种机台数量确定方法、机台数量确定装置、处理线、存储介质和电子设备，进而至少在一定程度上克服由于相关技术的限制和缺陷而导致的无法较好地确定出各站点机台数量的问题。根据本公开的一个方面，提供一种机台数量确定方法，包括：基于处理线上各站点内机台的工作数据生成一随机数表；以模拟的方式逐渐增加处理线上一目标站点内机台的数量，直至基于随机数表确定出的增加机台后的处理线的处理时间与增加机台前的处理线的处理时间之间的差小于一阈值；将增加机台后的机台数量确定为目标站点的机台数量。可选地，机台数量确定方法还包括：基于随机数表确定增加机台后目标站点内机台的正常工作时间和非正常工作时间；根据增加机台后目标站点内机台的正常工作时间和非正常工作时间确定增加机台后目标站点的处理时间；根据增加机台后目标站点的处理时间以及处理线上除目标站点外站点的处理时间确定处理线的处理时间。可选地，机台数量确定方法还包括：基于随机数表按预设模拟次数n确定处理线的n个处理时间；其中，n为正整数；确定n个处理时间的平均值作为处理线的处理时间。可选地，基于处理线上各站点内机台的工作数据生成一随机数表包括：获取处理线上各站点内机台的工作数据；根据各站点内机台的工作数据确定各站点内机台的统计数据；基于各站点内机台的工作数据和统计数据生成随机数表。可选地，工作数据包括机台正常工作时间、机台宕机日期、机台宕机修复时间。可选地，将增加机台后的机台数量确定为目标站点的机台数量包括：判断增加机台后的机台数量是否大于一预设数量；如果增加机台后的机台数据不大于预设数量，则将增加机台后的机台数量确定为目标站点的机台数量。根据本公开的一个方面，提供一种机台数量确定装置，包括随机数表生成模块、机台数量增加模块和机台数量确定模块。具体的，随机数表生成模块用于基于处理线上各站点内机台的工作数据生成一随机数表；机台数量增加模块用于以模拟的方式逐渐增加处理线上目标站点内机台的数量，直至基于随机数表确定出的增加机台后的处理线的处理时间与增加机台前的处理线的处理时间之间的差小于一阈值；机台数量确定模块用于将增加机台后的机台数量确定为目标站点的机台数量。可选地，机台数量增加模块包括时间确定单元、站点时间确定单元、处理线时间确定单元。具体的，时间确定单元用于基于随机数表确定增加机台后目标站点内机台的正常工作时间和非正常工作时间；站点时间确定单元用于根据增加机台后目标站点内机台的正常工作时间和非正常工作时间确定增加机台后目标站点的处理时间；处理线时间确定单元用于根据增加机台后目标站点的处理时间以及处理线上除目标站点外站点的处理时间确定处理线的处理时间。可选地，机台数量增加模块还包括多处理时间确定单元和处理时间计算单元。具体的，多处理时间确定单元用于基于随机数表按预设模拟次数n确定处理线的n个处理时间；其中，n为正整数；处理时间计算单元用于确定n个处理时间的平均值作为处理线的处理时间。可选地，随机数表生成模块包括工作数据获取单元、统计数据确定单元和随机数表生成单元。具体的，工作数据获取单元用于获取处理线上各站点内机台的工作数据；统计数据确定单元用于根据各站点内机台的工作数据确定各站点内机台的统计数据；随机数表生成单元用于基于各站点内机台的工作数据和统计数据生成随机数表。可选地，工作数据包括机台正常工作时间、机台宕机日期、机台宕机修复时间。可选地，机台数量确定模块包括数量判断单元和机台数量确定单元。具体的，数量判断单元用于判断增加机台后的机台数量是否大于一预设数量；机台数量确定单元用于如果增加机台后的机台数据不大于预设数量，则将增加机台后的机台数量确定为目标站点的机台数量。根据本公开的一个方面，提供一种处理线，包括多个站点，各站点包括一个或多个机台，各站点依据处理线处理过程的先后顺序执行处理任务；其中，各站点按处理线处理过程的先后顺序分别作为目标站点，执行如上述任意一项的机台数量确定方法，以确定各站点的机台数量。根据本公开的一个方面，提供一种存储介质，其上存储有计算机程序，计算机程序被处理器执行时实现上述任意一项的机台数量确定方法。根据本公开的一个方面，提供一种电子设备，包括：处理器；以及存储器，用于存储处理器的可执行指令；其中，处理器配置为经由执行可执行指令来执行上述任意一项的机台数量确定方法。在本公开的一些实施例所提供的技术方案中，基于机台的工作数据生成随机数表，以模拟的方式逐渐增加一目标站点内机台的数量，直至增加机台后的处理线的处理时间与增加机台前的处理线的处理时间之间的差小于一阈值，一方面，本公开可以通过实际的工作数据确定出处理线上目标站点内机台的数量，进而确定出整个处理线上各站点机台的配置情况；另一方面，通过本公开确定出的机台数量，有助于处理线的正常处理过程，避免了在加工或测试阶段产品在站点等待时间过程的问题；再一方面，由于本方案采用模拟的手段确定出机台数量，无需在实际配置机台的情况下确定合适的机台数量，因此，节约了成本，并且基于本公开确定出的机台数量，有助于企业合理配置资金、人力等成本。应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本公开。附图说明此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本公开的实施例，并与说明书一起用于解释本公开的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在附图中：图1示意性示出了根据本公开的示例性实施方式的机台数量确定方法的流程图；图2示意性示出了根据本公开的一个实施例的机台数量确定结果的示意图；图3示意性示出了根据本公开的示例性实施方式的机本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种机台数量确定方法，其特征在于，包括：/n基于处理线上各站点内机台的工作数据生成一随机数表；/n以模拟的方式逐渐增加处理线上一目标站点内机台的数量，直至基于所述随机数表确定出的增加机台后的处理线的处理时间与增加机台前的处理线的处理时间之间的差小于一阈值；/n将增加机台后的机台数量确定为所述目标站点的机台数量。/n

【技术特征摘要】
1.一种机台数量确定方法，其特征在于，包括：
基于处理线上各站点内机台的工作数据生成一随机数表；
以模拟的方式逐渐增加处理线上一目标站点内机台的数量，直至基于所述随机数表确定出的增加机台后的处理线的处理时间与增加机台前的处理线的处理时间之间的差小于一阈值；
将增加机台后的机台数量确定为所述目标站点的机台数量。


2.根据权利要求1所述的机台数量确定方法，其特征在于，所述机台数量确定方法还包括：
基于所述随机数表确定增加机台后目标站点内机台的正常工作时间和非正常工作时间；
根据增加机台后目标站点内机台的正常工作时间和非正常工作时间确定增加机台后目标站点的处理时间；
根据增加机台后目标站点的处理时间以及处理线上除所述目标站点外站点的处理时间确定处理线的处理时间。


3.根据权利要求2所述的机台数量确定方法，其特征在于，所述机台数量确定方法还包括：
基于所述随机数表按预设模拟次数n确定处理线的n个处理时间；其中，n为正整数；
确定所述n个处理时间的平均值作为处理线的处理时间。


4.根据权利要求1所述的机台数量确定方法，其特征在于，所述基于处理线上各站点内机台的工作数据生成一随机数表包括：
获取处理线上各站点内机台的工作数据；
根据各站点内机台的工作数据确定各站点内机台的统计数据；
基于各站点内机台的工作数据和统计数据生成随机数表。


5.根据权利要求4所述的机台数量确定方法，其特征在于，所述工作数据包括机台正常工作时间、机台宕机日期、机台宕机修复时间。


6.根据权利要求1所述的机台数量确定方法，其特征在于，所述将增加机台后的机台数量确定为所述目标站点的机台数量包括：
判断增加机台后的机台数量是否大于一预设数量；
如果增加机台后的机台数据不大于所述预设数量，则将增加机台后的机台数量确定为所述目标站点的机台数量。


7.一种机台数量确定装置，其特征在于，包括：
随机数表生成模块，用于基于处理线上各站点内机台的工作数据生成一随机数表；
机台数量增加模块，用于以模拟的方式逐渐增加处理线上目标站点内机台的数量，直至基于所...

【专利技术属性】
技术研发人员：王世生，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34