下载一种用于电阻法氮化铝晶体生长炉的热场及其装配方法的技术资料

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本发明涉及一种用于电阻法氮化铝晶体生长炉的热场及其装配方法,属于人工晶体生长技术领域。本发明包括最外层的金属筒、位于金属筒内的侧隔热外屏、侧隔热内屏、下隔热屏和中隔热屏,以及位于中隔热屏上方的上隔热屏,其中,侧隔热外屏为呈环形筒状的氧化锆保...
该专利属于山东大学所有,仅供学习研究参考,未经过山东大学授权不得商用。

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