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一种硅麦克风封装结构及一种电子设备,所述硅麦克风封装结构包括:基板,具有相对的第一表面和第二表面;封装壳体,设置于所述基板的第一表面上,与所述基板之间构成腔体;MEMS芯片,设置于所述腔体内;声孔,连通所述腔体内外部;导电防尘膜片,覆盖整个...该专利属于苏州敏芯微电子技术股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州敏芯微电子技术股份有限公司授权不得商用。
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一种硅麦克风封装结构及一种电子设备,所述硅麦克风封装结构包括:基板,具有相对的第一表面和第二表面;封装壳体,设置于所述基板的第一表面上,与所述基板之间构成腔体;MEMS芯片,设置于所述腔体内;声孔,连通所述腔体内外部;导电防尘膜片,覆盖整个...