下载一种具有高逆向崩塌电压的外延结构的技术资料

文档序号:24212903

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本发明公开了一种具有高逆向崩塌电压的外延结构,包括衬底、缓冲层、第一半导体层、超晶格层、有源层、第二半导体层和第一插入层;所述第一半导体层包括高温N‑GaN层和低温N‑GaN层,所述高温N‑GaN层的形成温度高于所述低温N‑GaN层的形成温...
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