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本发明公开了一种进气系统和进气方法。进气系统包括载气管路、工艺气体源瓶、工艺气体出气管路、排气管路以及保护组件；载气管路的第一端用于与载气源瓶连接，第二端与排气管路的进气端连接，第三端用于向工艺气体源瓶中通入载气，排气管路的出气端用于向尾气...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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