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一种压电式传感器及其制备方法技术
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下载一种压电式传感器及其制备方法的技术资料
文档序号:24201912
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本发明提出了一种压电式传感器及其制备方法,所述压电式传感器包括:基板、多个压电悬臂梁、固定柱;基板带有多个空腔;压电悬臂梁为双晶片结构,或者由单晶片结构和支撑层组成,压电悬臂梁的自由端面积大于固定端面积;固定柱设置在基板中心用于固定压电悬臂...
该专利属于武汉大学所有,仅供学习研究参考,未经过武汉大学授权不得商用。
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