温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供的升降装置和清洗系统,用于驱动腔体进行升降运动,其包括主升降机构与辅助调节机构,主升降机构通过升降臂和支撑组件驱动腔体进行主升降,辅助调节机构与升降臂连接,用于调节腔体的水平中心线与水平面的夹角。借助本发明的升降装置,一方面,在将...该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供的升降装置和清洗系统,用于驱动腔体进行升降运动,其包括主升降机构与辅助调节机构,主升降机构通过升降臂和支撑组件驱动腔体进行主升降,辅助调节机构与升降臂连接,用于调节腔体的水平中心线与水平面的夹角。借助本发明的升降装置,一方面,在将...