升降装置及清洗系统制造方法及图纸

本发明专利技术提供的升降装置和清洗系统，用于驱动腔体进行升降运动，其包括主升降机构与辅助调节机构，主升降机构通过升降臂和支撑组件驱动腔体进行主升降，辅助调节机构与升降臂连接，用于调节腔体的水平中心线与水平面的夹角。借助本发明专利技术的升降装置，一方面，在将水平放置的腔体放置到具有倾斜角的清洗槽中时，利用主升降机构将腔体的一端放在清洗槽的底部，再利用辅助调节机构调节腔体的水平中心线与水平面的夹角，以将腔体的另一端放置在清洗槽中，避免对腔体产生碰撞；另一方面，当腔体清洗完毕，将腔体从清洗槽中移出时，利用辅助调节机构使腔体的水平中心线与水平面之间形成夹角，以使残留在腔体中的清洗液倾倒出去，易于腔体的干燥。

Lifting device and cleaning system

【技术实现步骤摘要】
升降装置及清洗系统
本专利技术属于半导体制造
，具体涉及一种升降装置及清洗系统。
技术介绍
石英管被广泛应用于半导体和光伏等迅猛发展的高科技领域，这些领域对洁净度要求非常高，因此，对石英管的洁净度要求也十分严格。在半导体制程中，一般会在扩散等工艺前对石英管进行清洗。在石英管清洗过程中，会采用自动化搬送系统将石英管转移到清洗槽中进行清洗。现有技术中的石英管搬送系统，只能垂直移动水平放置的石英管，但是，清洗槽的底部往往具有一定倾斜角度，在使用现有技术的石英管搬送系统自外部向清洗槽中搬送石英管时，水平放置的石英管的一端先与清洗槽的底部接触，而石英管的另一端不可避免的会与清洗槽的底部反生碰撞，进而对石英管产生冲击，导致石英管的破损。因此，如何安全地将水平放置的石英管转移至具有一定倾斜角度的清洗槽中，成为本专利技术所要解决的技术问题。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种升降装置及清洗系统，以解决现有技术中水平放置的石英管与清洗槽的底部发生碰撞进而导致石英管破损的问本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种升降装置，用于驱动腔体进行升降运动，其特征在于，包括：/n主体结构；/n主升降机构，与所述主体结构连接；/n升降臂，与所述主升降机构连接，且所述升降臂能在所述主升降机构的驱动下升降；/n支撑组件，与所述升降臂的自由端连接，用于承载所述腔体，且所述支撑组件能在所述升降臂的带动下使所述腔体进行主升降；/n辅助调节机构，与所述升降臂连接，且所述辅助调节机构用于调节所述腔体的水平中心线与水平面的夹角。/n

【技术特征摘要】
1.一种升降装置，用于驱动腔体进行升降运动，其特征在于，包括：
主体结构；
主升降机构，与所述主体结构连接；
升降臂，与所述主升降机构连接，且所述升降臂能在所述主升降机构的驱动下升降；
支撑组件，与所述升降臂的自由端连接，用于承载所述腔体，且所述支撑组件能在所述升降臂的带动下使所述腔体进行主升降；
辅助调节机构，与所述升降臂连接，且所述辅助调节机构用于调节所述腔体的水平中心线与水平面的夹角。


2.根据权利要求1所述的升降装置，其特征在于，所述辅助调节机构包括：
框架；
升降臂固定架，位于所述框架内，且所述升降臂固定架的一侧固定有所述升降臂；
第一导轨单元，包括沿竖直方向穿设在所述升降臂固定架中的多个第一导轨；
传动组件，与所述升降臂固定架连接，且所述传动组件能在第一驱动源的驱动下带动所述升降臂固定架沿所述第一导轨移动。


3.根据权利要求2所述的升降装置，其特征在于，所述主升降机构包括第二驱动源和两个第二导轨，两个所述第二导轨分别连接在所述主体结构的两侧，所述第二驱动源能驱动两个所述第二导轨分别沿所述主体结构的两侧升降。


4.根据权利要求3所述的升降装置，其特征在于，所述升降臂包括第一提升臂和第二提升臂，所述第一提升臂和所述第二提升臂分别与对应的所述第二导轨连接；
所述辅助调节机构与所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙文婷，王锐廷，李广义，姬丹丹，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11